真空泵组是一种用于排除容器或系统内部气体，从而形成真空环境的设备。它通常由一个或多个真空泵和相应的控制系统组成，利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气，从而改善、产生和维持真空状态。

真空泵组的工作原理涉及多种物理原理和机械结构。其中，机械泵原理是通过机械运动，如旋转的叶轮或活塞，来不断变换容积，将气体从被抽空的容器中排出。而分子泵则利用截形板间的纳米级间距，使气体分子在碰撞过程中逐渐减小动能和速度，从而被排出。

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